微波光氧催化利用氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。臭氧对有机物具有较强的氧化作用。工业废气输入到净化设备后，净化设备运用高能UV紫外线光束和臭氧对工业废气进行协同分解氧化反应，使工业废气降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通过排风管道排出室外。微波产生的辐射能够增加催化剂TiO2表面载荷子的数量从而形成了更多的缺陷位，这种的最终结果就是阻碍了电子空穴对的复合，从而延长了载荷子的寿命提高了催化剂对紫外光的吸收效率，产生更多OH-氧化分解废气分子链。 微波光氧催化设备技术特点：
1.安全性稳定性：微波灯管由微波驱动发光，无燃烧爆炸、导线腐蚀松动等隐患，这是普通UV光解灯管无法达到的；
2.灯管使用寿命：普通UV光解灯管使用寿命约3000-5000小时，微波灯管的使用寿命可达50000小时，有效保证处理效果的持续稳定性；
3.清洗的便捷性：普通UV光解灯管必须由人工清洗，微波灯管可以用机器清洗；
4.能耗低：普通UV灯管每只150瓦，微波灯管每只能耗约60瓦；
5.高效性：微波光催化因为有微波能的助力，其催化反应效率明显比普通UV光解效率高30-50%。
6.处理效果持续稳定：长效灯管使用寿命+清洗的便捷性+微波能的催化作用，保证了处理效果的持续稳定性
